MEMSジャイロセンサ

ボッシュは自動車用ESPシステムなどに採用されているMEMSジャイロセンサを既にリリースしています。
民生機器用として、ジャイロセンサは以下のようなアプリケーションに最適です。

  • ナビゲーション
  •  手振れ補正
  •  ゲーム機器

センサ素子自体はMEMS技術で設計・製造されます。チップ上の静電容量方式で機械式ジャイロ原理を応用し角加速度を検出します。 検出対象部位を回転振動させることにより測定効果を得ます。 センサエレメントとしてピボット・ポイントの集中サスペンションが一つだけのため、センサの加速度伝達の感度としては非常に小さくなります。